西安光机所研制出新一代高性能微通道板

本报讯（郗光）8月18日，从西安光机所传来好消息：该所瞬态光学与光子技术国家重点实验室朱香平副研究员课题组联合松山湖材料实验室，成功研制出新一代高性能微通道板。

微通道板是一种在单通道电子倍增器基础上发展起来的具有多通道连续打拿极结构的电子倍增器件，因其独特的增益、噪声、空间分辨、时间分辨特性，成为光子、电子、离子探测和图像增强/微弱光信号放大中的核心器件。

据了解，该联合团队利用原子层沉积技术在微通道内壁沉积导电层和二次电子发射层功能材料，实现了结构材料和功能材料的分离，解决了传统铅玻璃氢还原工艺中材料与性能相互牵扯的矛盾，基体材料可扩展到硼硅酸盐玻璃、高分子以及陶瓷等材料。其研制的新一代高性能微通道板基板可承受更高烘烤温度，能大大降低微通道板器件的放气量，延长器件的使用寿命；微通道板以多组分无铅玻璃作为基板材料，采用原子层沉积技术制备功能层，相比传统商业化含铅微通道板，其工艺过程不需要氢还原，降低了传统微通道板中的气体吸附及K40同位素β衰减等引起的噪声。

该技术采用微电子工艺，工艺重复性高、产品性能稳定可靠，还能独立精细调控体电阻，有望在PET医疗成像、天体物理等粒子探测器，激光雷达、微光夜视图像增强器、质谱仪等分析仪器，以及时间分辨荧光/拉曼光谱仪等领域广泛应用。

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